金剛石作為第四代半導體材料，具有極其優越的物理化學特性，在諸多高科技領域具有很好的應用前景。金剛石拋光技術的研究不但突破了金剛石在高科技領域的應用瓶頸，還帶動了一些新工藝、新方法和新技術的發展。本書以作者多年的科研成果為基礎，匯集國內外金剛石領域的**進展，全面系統地對金剛石應用和拋光技術的重要成果進行了歸納和總結，內容主要包括：金剛石的結構及性能，金剛石膜的應用，金剛石膜的制備技術，金剛石膜的去除機理與拋光理論，金剛石膜的機械拋光技術、摩擦化學拋光技術、化學機械拋光技術、光催化輔助拋光技術及特種拋光技術，金剛石相關材料應用及加工技術。
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