本書共9章，以硅微機(jī)械陀螺為研究對象，通過數(shù)學(xué)物理方程推導(dǎo)微機(jī)電系統(tǒng)宏模型，采用對稱拓?fù)湓O(shè)計微機(jī)械陀螺結(jié)構(gòu)，制訂簡單、高效的工藝加工微機(jī)械陀螺，根據(jù)精密控制、電學(xué)知識設(shè)計微機(jī)械陀螺測控電路，從而闡明硅微機(jī)械陀螺誤差產(chǎn)生機(jī)理，并為減小誤差提供研究思路。本書內(nèi)容新穎，簡明扼要。
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