聚焦離子束:應用與實踐
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聚焦離子束(FocusedIonBeam,FIB)是微納加工、芯片失效分析、微結構科學研究的核心技術裝備之一。隨著材料、器件的微尺度化(納米甚至原子尺度)、高集成化(每平方厘米集成10億個以上的功能單元)、多功能化(在多種外場條件下工作),越來越多的材料微結構研究、器件研發須使用聚焦離子束。全書共分七章,從聚焦離子束的結構原理出發,緊密結合應用與實踐,對聚焦離子束誘導沉積、濺射刻蝕、離子注入、離子束曝光、聯合使用模式以及樣品的前期處理進行闡述,并配有實際案例進行進一步詳解。
鄧昱,南京大學現代工程與應用科學學院博士生導師,亞原子電子顯微鏡中心主任,中國分析測試協會青年委員會副主任委員,美國勞倫斯伯克利國家實驗室、國家電子顯微鏡中心訪問教授。