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聚焦離子束:應用與實踐

聚焦離子束:應用與實踐

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中 教 價:¥40.80  (6.00折)

庫 存 數: 13

  • 作者:鄧昱,魏大慶,王英,陳振
  • 出版時間:2023/12/1
  • ISBN:9787305274091
  • 出 版 社:南京大學出版社
  • 中圖法分類:TL632 
  • 頁碼:204
  • 紙張:
  • 版次:1
  • 開本:16開
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聚焦離子束(FocusedIonBeam,FIB)是微納加工、芯片失效分析、微結構科學研究的核心技術裝備之一。隨著材料、器件的微尺度化(納米甚至原子尺度)、高集成化(每平方厘米集成10億個以上的功能單元)、多功能化(在多種外場條件下工作),越來越多的材料微結構研究、器件研發須使用聚焦離子束。全書共分七章,從聚焦離子束的結構原理出發,緊密結合應用與實踐,對聚焦離子束誘導沉積、濺射刻蝕、離子注入、離子束曝光、聯合使用模式以及樣品的前期處理進行闡述,并配有實際案例進行進一步詳解。
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