《現代薄膜材料與技術》由薄膜制備技術、薄膜檢測技術和典型薄膜材料及其應用3部分構成，系統介紹了現代薄膜技術中涉及的真空的獲得和測量方法、薄膜制備技術中重要的物理和化學方法、薄膜材料常用的結構分析和性能測試方法，全面闡述了典型薄膜材料的制備、結構、性能和應用。此外，《現代薄膜材料與技術》還結合筆者的研究工作，設置了磁控濺射鍍膜技術和非晶碳膜的結構和性能表征方法兩個專題內容。
《現代薄膜材料與技術》可作為普通高等工科院校的材料及相關專業的薄膜材料與技術課程的教學用書，也可供從事薄膜材料生產和開發的工程技術人員參考。
第1章 薄膜制備的真空技術基礎
1．1 真空的基本知識
1．2 真空的獲得
1．3 真空的測量
復習思考題
參考文獻
第2章 薄膜的物理氣相沉積
2．1 真空蒸發鍍膜
2．2 濺射鍍膜
2．3 其他物理氣相沉積技術
2．4 分子束外延鍍膜技術
專題1 磁控濺射鍍膜技術
復習思考題
參考文獻
第3章 薄膜制備的化學方法
3．1 薄膜的化學和電化學轉化
3．2 薄膜的化學氣相沉積
復習思考題
參考文獻
第4章 薄膜材料的表征與評價
4．1 薄膜厚度的測量與監控
4．2 表面成分和組織結構分析
4．3 物理和化學性能測試
4．4 力學性能測試
專題2 非晶碳膜的結構和性能表征方法
復習思考題
參考文獻
第5章 功能薄膜材料及其應用
5．1 光電薄膜
5．2 磁性薄膜
復習思考題
參考文獻
第6章 超硬薄膜材料及其應用
6．1 金剛石膜
6．2 非晶碳膜
6．3 氮化碳（CNx）薄膜
復習思考題
參考文獻
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