譯者序
原書前言
物理常數
物理量
第1章從MEMS到NEMS 1
1.1微納機電系統：概述1
1.2小結7
第2章納米尺度上的轉導與噪聲的概念9
2.1機械傳遞函數9
2.2轉導原理14
2.2.1納米結構的驅動15
2.2.2檢測21
2.3自激振蕩與噪聲34
2.4小結39
第3章NEMS與其讀出電路的
單片集成41
3.1簡介41
3.1.1為什么要將NEMS與其讀出電路進行集成41
3.1.2 MEMS-CMOS與NEMS-CMOS之間的區別42
3.2單片集成的優勢與主要途徑43
3.2.1集成方案及其電氣性能的比較43
3.2.2閉環NEMS-CMOS振蕩器：構建基于NEMS的頻率傳感器的必不可少的組成模塊46
3.2.3從制造技術的角度概述主要成就47
3.3從轉導的角度對一些顯著成就的分析51
3.3.1電容式NEMS-CMOS的案例51
3.3.2壓阻式NEMS-CMOS的案例55
3.3.3替代途徑58
3.4小結與未來展望59
第4章NEMS與尺度效應60
4.1簡介60
4.1.1固有損耗64
4.1.2外部損耗65
4.2納米結構中的近場效應：卡西米爾力69
4.2.1卡西米爾力的直觀解釋69
4.2.2問題70
4.2.3兩個硅板之間卡西米爾力的嚴格計算72
4.2.4納米加速度計內卡西米爾力的影響76
4.2.5本節小結79
4.3固有尺度效應的示例：電傳導定律80
4.3.1電阻率80
4.3.2壓阻效應85
4.4光機納米振蕩器和量子光機93
4.5小結101
第5章結論與應用前景：從基礎物理到應用物理102
附錄114
附錄A針對納米線的自下而上和自上而下制造工藝114
A.1自下而上制造114
A.2自上而下制造116
附錄B卡西米爾力詳述117
參考文獻119
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