微執(zhí)行器是現(xiàn)代自動控制技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)。近年來，隨著微電子技術(shù)和微細加工工藝的快速發(fā)展，特別是微納米技術(shù)的蓬勃興起，為微執(zhí)行器的開研究提供了有力的技術(shù)支持。《微執(zhí)行器》共分9章，系統(tǒng)闡述和介紹了微執(zhí)行器中電磁型微馬達、光學執(zhí)行器、微閥門、微型泵、生物微執(zhí)行器、微機械執(zhí)行器和化學執(zhí)行器的基本原理、技術(shù)基礎、制造工藝和應用實例。
《微執(zhí)行器》可供從事自動化領(lǐng)域及微納米技術(shù)研究的工程技術(shù)人員閱讀參考，也可作為大專院校中相關(guān)專業(yè)師生的參考書。
《微執(zhí)行器》是一部關(guān)于微執(zhí)行器的理論專著，全書系統(tǒng)闡述和介紹了微執(zhí)行器中電磁型微馬達、光學執(zhí)行器、微閥門、微型泵、生物微執(zhí)行器、微機械執(zhí)行器和化學執(zhí)行器的基本原理、技術(shù)基礎、制造工藝和應用實例。《微執(zhí)行器》適合微執(zhí)行器技術(shù)人員參考學習。
第1章 緒論
1.1 執(zhí)行器與微執(zhí)行器
1.1.1 執(zhí)行器
1.1.2 微執(zhí)行器
1.2 微執(zhí)行器的主要特點
1.3 微執(zhí)行器的主要加工技術(shù)
1.3.1 體微加工技術(shù)
1.3.2 表面微加工技術(shù)
1.3.3 高深寬比微加工技術(shù)
1.3.4 組封裝技術(shù)
1.4 微執(zhí)行器的現(xiàn)狀和發(fā)展前景
第2章 電磁型微馬達
2.1 前言
2.2 磁的基本知識
2.2.1 磁感應強度
2.2.2 磁通
2.2.3 磁介質(zhì)
2.2.4 磁場強度
2.2.5 電流的磁效應
2.3 永磁材料
2.3.1 永磁材料的磁滯回線
2.3.2 磁鋼特性的主要參數(shù)
2.4 直流無刷微馬達
2.4.1 基本原理
2.4.2 直流無刷馬達基本結(jié)構(gòu)
2.4.3 直流無刷微馬達的基本結(jié)構(gòu)
2.4.4 直流無刷微馬達定子
2.4.5 直流無刷微馬達轉(zhuǎn)子
2.4.6 電磁型微馬達設計中若干問題
2.5 直流無刷微馬達的控制方法
2.5.1 基本控制電路
2.5.2 同步微馬達運行方式
2.5.3 變結(jié)構(gòu)控制方式
2.6 步進微馬達
2.6.1 步進馬達的特點與分類
2.6.2 步進微馬達基本原理
2.6.3 步進微馬達結(jié)構(gòu)
2.6.4 步進微馬達的控制電路
2.6.5 提高步進微馬達精度方法
2.7 其他類型電磁型微馬達
2.7.1 電磁懸浮直線微馬達
2.7.2 端面搖擺式電磁型微馬達
2.7.3 開關(guān)型磁阻微馬達
第3章 電磁型微馬達應用舉例
3.1 電磁型微馬達在光開關(guān)中的應用
3.1.1 微型光開關(guān)
3.1.2 光開關(guān)的準直器和反射鏡
3.1.3 擺動式微執(zhí)行器的制造
3.1.4 光纖準直器的耦合調(diào)整和固定
3.2 微馬達在微直升機上的應用
3.2.1 設計的指導思想和技術(shù)難點
3.2.2 機翼的研制
3.2.3 機身的研制
3.2.4 微馬達的研制
3.2.5 控制電路的研制
3.2.6 微型直升機的實用化
3.3 電磁型微馬達在醫(yī)療上的應用
3.3.1 系統(tǒng)整體構(gòu)思
3.3.2 內(nèi)窺鏡檢測導管前端結(jié)構(gòu)設計
3.3.3 電磁型微馬達驅(qū)動電路的設計
3.3.4 微馬達對物鏡前方光路的遮擋
3.3.5 微馬達與上位機的通信
3.4 微馬達在微型機器人系統(tǒng)中的應用
……
第4章 光學執(zhí)行器
第5章 微閥門
第6章 微型泵
第7章 生物微執(zhí)行器
第8章 微機械執(zhí)行器
第9章 化學執(zhí)行器
參考文獻
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